次世代デバイスの歩留り向上に寄与するCD-SEM「CG4000」と設計データ応用システム「DesignGauge」

• 資料種別: 記事
• タイトル: 次世代デバイスの歩留り向上に寄与するCD-SEM「CG4000」と設計データ応用システム「DesignGauge」
• 著者・編者: 川田勲; 長谷川昇雄; 日比野大輔
• 出版事項: 日本 : 日立評論社
• 出版年月日等: 2007-04
• 出版年（W3CDTF）: 2007-04
• 並列タイトル等: Critical dimension-scanning electron microscope “CG4000” and DesignGauge system for utilizing design data for enhancing yield of next-generation devices
• タイトル（掲載誌）: 日立評論
• 巻号年月日等（掲載誌）: 89(4)
• 掲載巻: 89(4)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8675580; https://dl.ndl.go.jp/pid/8675580
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2014-06-10T02:23:32+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2009-10-29
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/286174/www.hitachihyoron.com/2007/04/04a03.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8675576; https://dl.ndl.go.jp/pid/8675576
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp