次世代デバイスの歩留り向上に寄与するCD-SEM「CG4000」と設計データ応用システム「DesignGauge」

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8675580

Material type: 記事

Author: 川田勲ほか

Publisher: 日立評論社

Publication date: 2007-04

Material Format: Digital

Journal name: 日立評論 89(4)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: 次世代デバイスの歩留り向上に寄与するCD-SEM「CG4000」と設計データ応用システム「DesignGauge」
Author/Editor: 川田勲
長谷川昇雄
日比野大輔
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日立評論社
Publication Date: 2007-04
Publication Date (W3CDTF): 2007-04
Alternative Title: Critical dimension-scanning electron microscope “CG4000” and DesignGauge system for utilizing design data for enhancing yield of next-generation devices
Periodical title: 日立評論
No. or year of volume/issue: 89(4)
Volume: 89(4)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8675580
https://dl.ndl.go.jp/pid/8675580
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2014-06-10T02:23:32+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2009-10-29
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/286174/www.hitachihyoron.com/2007/04/04a03.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8675576
https://dl.ndl.go.jp/pid/8675576
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp