次世代パワー半導体素子のオーミック電極形成
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国立国会図書館デジタルコレクション
デジタルデータあり（生産技術振興協会）
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 前田将克
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2013
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 並列タイトル等
- Formation of ohmic electrodes on next-generation power semiconductor devices
- タイトル（掲載誌）
- 生産と技術
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(1)
- 掲載巻
- 65(1)