マイクロ構造の3次元形状計測に向けた蛍光信号測定による垂直面の検出
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国立国会図書館デジタルコレクション
デジタルデータあり（生産技術振興協会）
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 福井彩乃
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2013
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 並列タイトル等
- Surface detection of vertical sidewall by measuring fluorescent signal for three-dimensional shape measurement of microstructures
- タイトル（掲載誌）
- 生産と技術
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(4)
- 掲載巻
- 65(4)