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電子書籍・電子雑誌生産と技術
Volume number65 (4)
マイクロ構造の3次元...

マイクロ構造の3次元形状計測に向けた蛍光信号測定による垂直面の検出

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マイクロ構造の3次元形状計測に向けた蛍光信号測定による垂直面の検出

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/8685385
Material type
記事
Author
福井彩乃
Publisher
生産技術振興協会
Publication date
2013
Material Format
Digital
Journal name
生産と技術 65(4)
Publication Page
-
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Digital

Material Type
記事
Author/Editor
福井彩乃
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2013
Publication Date (W3CDTF)
2013
Alternative Title
Surface detection of vertical sidewall by measuring fluorescent signal for three-dimensional shape measurement of microstructures
Periodical title
生産と技術
No. or year of volume/issue
65(4)
Volume
65(4)