New process for reclaiming test wafers without copper contamination

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8704828

資料種別: 記事

著者: Tetsuo Suzukiほか

出版者: Kobe Steel

出版年: 2007-11

資料形態: デジタル

掲載誌名: Kobelco technology review (27)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: New process for reclaiming test wafers without copper contamination
著者・編者: Tetsuo Suzuki
Satoru Takada
Akihiro Kawai
出版事項: 日本 : Kobe Steel
出版年月日等: 2007-11
出版年（W3CDTF）: 2007-11
タイトル（掲載誌）: Kobelco technology review
巻号年月日等（掲載誌）: (27)
掲載巻: (27)
ISSN（掲載誌）: 2188-0921
ISSN-L（掲載誌）: 0913-4794
本文の言語コード: eng
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8704828
https://dl.ndl.go.jp/pid/8704828
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2014-07-17T02:13:55+09:00
保存日（W3CDTF）: 2014-04-28
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://www.kobelco.co.jp/english/ktr/ktr_27.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8704826
https://dl.ndl.go.jp/pid/8704826
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp