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液晶パネル用アルミニ...

液晶パネル用アルミニウム合金ターゲット材料

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液晶パネル用アルミニウム合金ターゲット材料

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/8705309
資料種別
記事
著者
吉川一男ほか
出版者
神戸製鋼所
出版年
2002-09-01
資料形態
デジタル
掲載誌名
R&D神戸製鋼技報 (201)
掲載ページ
-
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
吉川一男
大西隆
出版年月日等
2002-09-01
出版年(W3CDTF)
2002-09-01
並列タイトル等
Aluminum alloy sputtering target for TFT-LCDs
タイトル(掲載誌)
R&D神戸製鋼技報
巻号年月日等(掲載誌)
(201)
掲載巻
(201)