有機EL向け平坦ITO膜形成用ターゲットの開発
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 内海健太郎伊藤謙一寺岡秀樹
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 並列タイトル等
- Development of an ITO target suitable for spike-less ITO films for organic EL display use
- タイトル（掲載誌）
- 研究・技術報告
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 46
- 掲載巻
- 46