有機EL向け平坦ITO膜形成用ターゲットの開発

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8714046

Material type: 記事

Author: 内海健太郎ほか

Publisher: 東ソー

Publication date: 2002

Material Format: Digital

Journal name: 研究・技術報告 46

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: 有機EL向け平坦ITO膜形成用ターゲットの開発
Author/Editor: 内海健太郎
伊藤謙一
寺岡秀樹
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 東ソー
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Alternative Title: Development of an ITO target suitable for spike-less ITO films for organic EL display use
Periodical title: 研究・技術報告
No. or year of volume/issue: 46
Volume: 46
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8714046
https://dl.ndl.go.jp/pid/8714046
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2014-07-30T21:20:13+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2014-06-25
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.tosoh.co.jp/technology/report/2002.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8714043
https://dl.ndl.go.jp/pid/8714043
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp