逆解析を利用しためっき膜厚のモニタリング

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8758267

資料種別: 記事

著者: 阿部馨督ほか

出版者: 京都大学

出版年: 2004-12

資料形態: デジタル

掲載誌名: 境界要素法論文集 (21)

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資料に関する注記

一般注記：: 資料記載の並列タイトル(誤植) : Monitoring of electroplating thickness using inverse analisys

書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 逆解析を利用しためっき膜厚のモニタリング
著者・編者: 阿部馨督
天谷賢治
青木繁
出版事項: 日本 : 京都大学
出版年月日等: 2004-12
出版年（W3CDTF）: 2004-12
並列タイトル等: Monitoring of electroplating thickness using inverse analysis
タイトル（掲載誌）: 境界要素法論文集
巻号年月日等（掲載誌）: (21)
掲載巻: (21)
本文の言語コード: jpn
一般注記: 資料記載の並列タイトル(誤植) : Monitoring of electroplating thickness using inverse analisys
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8758267
https://dl.ndl.go.jp/pid/8758267
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 国立大学
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00031
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2014-10-03T20:45:11+09:00
保存日（W3CDTF）: 2013-06-14
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8223042/gspsun1.gee.kyoto-u.ac.jp/JASCOME/paper/bem_trans21.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8758262
https://dl.ndl.go.jp/pid/8758262
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp