逆解析を利用しためっき膜厚のモニタリング

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8758267

Material type: 記事

Author: 阿部馨督ほか

Publisher: 京都大学

Publication date: 2004-12

Material Format: Digital

Journal name: 境界要素法論文集 (21)

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Note (General)：: 資料記載の並列タイトル(誤植) : Monitoring of electroplating thickness using inverse analisys

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Digital

Material Type: 記事
Title: 逆解析を利用しためっき膜厚のモニタリング
Author/Editor: 阿部馨督
天谷賢治
青木繁
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 京都大学
Publication Date: 2004-12
Publication Date (W3CDTF): 2004-12
Alternative Title: Monitoring of electroplating thickness using inverse analysis
Periodical title: 境界要素法論文集
No. or year of volume/issue: (21)
Volume: (21)
Text Language Code: jpn
Note (General): 資料記載の並列タイトル(誤植) : Monitoring of electroplating thickness using inverse analisys
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8758267
https://dl.ndl.go.jp/pid/8758267
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 国立大学
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00031
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2014-10-03T20:45:11+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2013-06-14
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8223042/gspsun1.gee.kyoto-u.ac.jp/JASCOME/paper/bem_trans21.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8758262
https://dl.ndl.go.jp/pid/8758262
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp