プラズマCVDとイオン注入技術を用いた高密着ダイヤモンドライクカーボン膜の作製

• 資料種別: 記事
• タイトル: プラズマCVDとイオン注入技術を用いた高密着ダイヤモンドライクカーボン膜の作製
• 著者・編者: 渕上健児; 和住光一郎; 上松和夫
• 出版事項: 日本 : 石川島播磨重工業
• 出版年月日等: 2003-07
• 出版年（W3CDTF）: 2003-07
• 並列タイトル等: Preparation of highly adhesive Diamond-Like Carbon films by plasma CVD combined with ion implantation
• タイトル（掲載誌）: 石川島播磨技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 43(4)
• 掲載巻: 43(4)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8791159; https://dl.ndl.go.jp/pid/8791159
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2014-11-05T22:03:06+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2005-07-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/247122/www.ihi.co.jp/ihi/technology/gihou/gihou43-4c.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8791158; https://dl.ndl.go.jp/pid/8791158
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp