SOIダイオード型非冷却赤外線センサに用いるドライマイクロマシニングプロセス

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/9220955

資料種別: 記事

著者: 中木義幸ほか

出版者: 三菱電機エンジニアリング

出版年: 2004-06

資料形態: デジタル

掲載誌名: 三菱電機技報 78(6)

掲載ページ: -

すべて見る

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

デジタル

資料種別: 記事
タイトル: SOIダイオード型非冷却赤外線センサに用いるドライマイクロマシニングプロセス
著者・編者: 中木義幸
秦久敏
出版事項: 日本 : 三菱電機エンジニアリング
出版年月日等: 2004-06
出版年（W3CDTF）: 2004-06
並列タイトル等: Dry micromachining process for uncooled IR FPA with SOI diode detectors
タイトル（掲載誌）: 三菱電機技報
巻号年月日等（掲載誌）: 78(6)
掲載巻: 78(6)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/9220955
https://dl.ndl.go.jp/pid/9220955
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2015-04-09T21:33:13+09:00
保存日（W3CDTF）: 2005-09-27
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/260674/www.mitsubishielectric.co.jp/giho/0406/index.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/9220952
https://dl.ndl.go.jp/pid/9220952
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp