SOIダイオード型非冷却赤外線センサに用いるドライマイクロマシニングプロセス

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9220955

Material type: 記事

Author: 中木義幸ほか

Publisher: 三菱電機エンジニアリング

Publication date: 2004-06

Material Format: Digital

Journal name: 三菱電機技報 78(6)

Publication Page: -

View All

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Digital

Material Type: 記事
Title: SOIダイオード型非冷却赤外線センサに用いるドライマイクロマシニングプロセス
Author/Editor: 中木義幸
秦久敏
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 三菱電機エンジニアリング
Publication Date: 2004-06
Publication Date (W3CDTF): 2004-06
Alternative Title: Dry micromachining process for uncooled IR FPA with SOI diode detectors
Periodical title: 三菱電機技報
No. or year of volume/issue: 78(6)
Volume: 78(6)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9220955
https://dl.ndl.go.jp/pid/9220955
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2015-04-09T21:33:13+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2005-09-27
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/260674/www.mitsubishielectric.co.jp/giho/0406/index.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/9220952
https://dl.ndl.go.jp/pid/9220952
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp