オゾンを用いた環境に優しいレジスト除去に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: オゾンを用いた環境に優しいレジスト除去に関する研究
• 著者・編者: 後藤, 洋介
• 著者標目: 後藤, 洋介
• 出版年月日等: 2014-03-17
• 出版年（W3CDTF）: 2014-03-17
• 並列タイトル等: オゾン ヲ モチイタ カンキョウ ニ ヤサシイ レジスト ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 金沢工業大学
• 授与年月日: 2014-03-17
• 授与年月日（W3CDTF）: 2014-03-17
• 報告番号: 甲第96号
• 学位: 博士(理工学)
• 博論授与番号: 甲第96号
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 出版タイプ： VoR; type:学位論文;Thesis or Dissertation; 薬液フリーで環境に優しく、かつ低温プロセスである湿潤オゾンの実用化に向けた知見を得るために湿潤オゾン照射最適条件の検討、湿潤オゾンによるレジスト除去が適用可能な範囲(化学構造、イオン種、イオン注入量、加速エネルギー)を解明した。その結果、主鎖または側鎖にベンゼン環を持つポリマーは湿潤オゾンによる除去が可能であり、実プロセスに近い3keVの加速エネルギーで高イオン注入量(1×10^15 /cm^2)のi線用レジスト、KrFエキシマレーザー用レジストも3keV程度であれば湿潤オゾンを用いて除去できることを解明した。; identifier:20141016001
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/9278334; https://dl.ndl.go.jp/pid/9278334
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• 収集根拠: 博士論文（自動収集）
• 受理日（W3CDTF）: 2015-05-01T13:23:17+09:00
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 掲載誌（URI）: http://kitir.kanazawa-it.ac.jp:80/infolib/meta_pub/G0000002repository_20141016001
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2017-10-04 再収集