オゾンを用いた環境に優しいレジスト除去に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: オゾンを用いた環境に優しいレジスト除去に関する研究
• Author/Editor: 後藤, 洋介
• Author Heading: 後藤, 洋介
• Publication Date: 2014-03-17
• Publication Date (W3CDTF): 2014-03-17
• Alternative Title: オゾン ヲ モチイタ カンキョウ ニ ヤサシイ レジスト ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree Grantor: 金沢工業大学
• Date Granted: 2014-03-17
• Date Granted (W3CDTF): 2014-03-17
• Dissertation Number: 甲第96号
• Degree Type: 博士(理工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第96号
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 出版タイプ： VoR; type:学位論文;Thesis or Dissertation; 薬液フリーで環境に優しく、かつ低温プロセスである湿潤オゾンの実用化に向けた知見を得るために湿潤オゾン照射最適条件の検討、湿潤オゾンによるレジスト除去が適用可能な範囲(化学構造、イオン種、イオン注入量、加速エネルギー)を解明した。その結果、主鎖または側鎖にベンゼン環を持つポリマーは湿潤オゾンによる除去が可能であり、実プロセスに近い3keVの加速エネルギーで高イオン注入量(1×10^15 /cm^2)のi線用レジスト、KrFエキシマレーザー用レジストも3keV程度であれば湿潤オゾンを用いて除去できることを解明した。; identifier:20141016001
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9278334; https://dl.ndl.go.jp/pid/9278334
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2015-05-01T13:23:17+09:00
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://kitir.kanazawa-it.ac.jp:80/infolib/meta_pub/G0000002repository_20141016001
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2017-10-04 再収集