ION IMPLANTATION IN COMPOUND SEMICONDUCTORS FOR HIGH-PERFORMANCE ELECTRONIC DEVICES (SAND ; SAND-96-0802C)

ION IMPLANTATION IN COMPOUND SEMICONDUCTORS FOR HIGH-PERFORMANCE ELECTRONIC DEVICES

(SAND ; SAND-96-0802C)

著者: ZOLPER, J.C.// BACA, A.G.// SHERWIN, M.E.// KLEM, J.F. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: ION IMPLANTATION IN COMPOUND SEMICONDUCTORS FOR HIGH-PERFORMANCE ELECTRONIC DEVICES
著者・編者: ZOLPER, J.C.// BACA, A.G.// SHERWIN, M.E.// KLEM, J.F. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-96-0802C
著者標目: ZOLPER, J.C.
BACA, A.G.
SHERWIN, M.E.
KLEM, J.F.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1996.
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 12
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/