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Laser probes and numerical modeling as process diagnostics in chemical vapor deposition (SAND ; SAND-88-1313C; CONF-880408-26; DE88011622)

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Laser probes and numerical modeling as process diagnostics in chemical vapor deposition

(SAND ; SAND-88-1313C; CONF-880408-26; DE88011622)

資料種別
図書
著者
Breiland, W.G., Ho, P., Coltrin, M.E. [et al.]
出版者
Sandia National Labs.
出版年
1988.1.
資料形態
ページ数・大きさ等
12p
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
Breiland, W.G., Ho, P., Coltrin, M.E. [et al.]
出版年月日等
1988.1.
出版年(W3CDTF)
1988
数量
12p
出版地(国名コード)
us