Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 19325150
• タイトル: Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS
• 著者標目: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
• 出版事項: SPIE-The International Society for Optical Engineering
• 出版年月日等: c2007-
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 刊行状態: 継続刊行中
• 刊行頻度: 季刊
• 大きさ: 28 cm
• 並列タイトル等: JM3
• 出版地（国名コード）: us
• 本文の言語コード: en
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Title from cover; Vol. 6, no. 1 (Jan./Mar. 2007) bears former ISSN: 1537-1646
• 関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA12228464#entity; https://lccn.loc.gov/2006214529
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
• 提供元機関・データベース: CiNii Books; https://ci.nii.ac.jp/books
• NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA12228464 : AA12228464
• LC control number: 2006214529; https://lccn.loc.gov/2006214529