超LSI多層配線AI CVD装置の開発

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資料種別: 図書
タイトル: 超LSI多層配線AI CVD装置の開発
タイトルよみ: チョウLSI タソウハイセン AI CVD ソウチノカイハツ
著者・編者: 坪内和夫研究代表者
著者標目: 坪内, 和夫ツボウチ, カズオ
出版事項: [坪内和夫]
出版年月日等: 1999.3
出版年（W3CDTF）: 1999
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08555073)
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
関連情報: 科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794685227008
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB02937546#entity
掲載誌: 科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794685227008
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB02937546 : BB02937546