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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications : hardback 3rd ed

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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications : hardback

3rd ed

資料種別
図書
著者
Marc J. Madou
出版者
CRC Press
出版年
c2012
資料形態
ページ数・大きさ等
29 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Includes bibliographical references and index"This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
9781420055160
巻次・部編番号
: hardback
著者・編者
Marc J. Madou
3rd ed
出版事項
出版年月日等
c2012
出版年(W3CDTF)
2012