From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications : hardback 3rd ed

From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications : hardback

3rd ed

資料に関する注記

一般注記：: Includes bibliographical references and index"This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]

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資料種別: 図書
ISBN: 9781420055160
タイトル: From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
巻次・部編番号: : hardback
著者・編者: Marc J. Madou
版: 3rd ed
著者標目: Madou, Marc J.
https://ci.nii.ac.jp/author/DA0355770X
出版事項: CRC Press
出版年月日等: c2012
出版年（W3CDTF）: 2012
大きさ: 29 cm
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
件名標目: BioMEMS
Nanoelectromechanical systems
Nanotechnology
Biotechnology
LCC: TP248.25.B54
対象利用者: 一般
一般注記: Includes bibliographical references and index
"This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]
関連情報: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795464954240
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB06583387#entity
https://lccn.loc.gov/2011014404
掲載誌: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795464954240
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB06583387 : BB06583387
LC control number: 2011014404
https://lccn.loc.gov/2011014404