Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah SPIE

Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah SPIE

資料種別: 図書

著者: editors, Bernd O. Kolbesen ... [et al.] ; sponsored by the Electrochemical Society. Electronics Division

出版者: Electrochemical Society

出版年: c2003

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 24 cm

NDC: -

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一般注記：: "SPIE Volume 5133" --on T.p. versoIncludes bibliographical references and indexes

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 1566773482
0819449997
タイトル: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah
巻次・部編番号: SPIE
著者・編者: editors, Bernd O. Kolbesen ... [et al.] ; sponsored by the Electrochemical Society. Electronics Division
著者標目: ALTECH
Electrochemical Society. Meeting
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03398898
Kolbesen, Bernd O.
https://ci.nii.ac.jp/author/DA07746930
Electrochemical Society. Electronics Division
https://ci.nii.ac.jp/author/DA0357072X
出版事項: Electrochemical Society
出版年月日等: c2003
出版年（W3CDTF）: 2003
大きさ: 24 cm
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
一般注記: "SPIE Volume 5133" --on T.p. verso
Includes bibliographical references and indexes
関連情報: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269273401728
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA62545478#entity
https://lccn.loc.gov/2003100709
掲載誌: Proceedings
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269273401728
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA62545478 : BA62545478
LC control number: 2003100709
https://lccn.loc.gov/2003100709