Proceedings of the 35th International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams, 28-31 May 1991 Seattle Sheraton Hotel & Towers, Seattle, Washington special casebound ed.

Proceedings of the 35th International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams, 28-31 May 1991 Seattle Sheraton Hotel & Towers, Seattle, Washington

special casebound ed.

資料種別: 図書

著者: special editor for the proceedings, Jane Shaw

出版者: Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics

出版年: 1991

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: -

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: "The proceedings are published in both the 1991 November/December issue of the Journal of vacuum science and technology B, vol. 9 no. 6 and in a speci...

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
紙
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
ISBN: 1563960125
タイトル: Proceedings of the 35th International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams, 28-31 May 1991 Seattle Sheraton Hotel & Towers, Seattle, Washington
著者・編者: special editor for the proceedings, Jane Shaw
版: special casebound ed.
著者標目: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03926114
Shaw, Jane
American Vacuum Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03926125
出版事項: Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics
出版年月日等: 1991
出版年（W3CDTF）: 1991
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
件名標目: Photolithography -- Congresses
Lithography, Electron beam -- Congresses
Ion beam lithography -- Congresses
X-ray lithography -- Congresses
Photoresists -- Congresses
LCC: TR940
対象利用者: 一般
一般注記: "The proceedings are published in both the 1991 November/December issue of the Journal of vacuum science and technology B, vol. 9 no. 6 and in a special casebound edition available to participants" -- T.p. verso
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA20543228#entity
https://lccn.loc.gov/91076907
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA20543228 : BA20543228
LC control number: 91076907
https://lccn.loc.gov/91076907