極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビットメモリ配線への応用

資料種別: 図書

著者: 研究代表者広瀬全孝

出版者: [広瀬全孝]

出版年: 1995.3

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 30cm

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: [研究課題番号: 04555071]研究代表者: 広瀬全孝(広島大学工学部教授)研究分担者: 宮崎誠一, 林俊雄, 小谷秀夫...

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資料種別: 図書
タイトル: 極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビットメモリ配線への応用
タイトルよみ: ゴクビサイコウエノサンカマクノセンタクセイチョウホウノカイハツトギガビットメモリハイセンエノオウヨウ
著者・編者: 研究代表者広瀬全孝
著者標目: 広瀬, 全孝ヒロセ, マサタカ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA02023222
出版事項: [広瀬全孝]
出版年月日等: 1995.3
出版年（W3CDTF）: 1995
大きさ: 30cm
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: [研究課題番号: 04555071]
研究代表者: 広瀬全孝(広島大学工学部教授)
研究分担者: 宮崎誠一, 林俊雄, 小谷秀夫
文献あり
課題番号: 04555071(科学研究費助成事業データベースによる)
表紙に課題番号0455071とあり(誤植)
関連情報: 科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795384198144
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB27336910#entity
掲載誌: 科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795384198144
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB27336910 : BB27336910