極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビットメモリ配線への応用

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Note (General)：: [研究課題番号: 04555071]研究代表者: 広瀬全孝(広島大学工学部教授)研究分担者: 宮崎誠一, 林俊雄, 小谷秀夫...

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Material Type: 図書
Title: 極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビットメモリ配線への応用
Title Transcription: ゴクビサイコウエノサンカマクノセンタクセイチョウホウノカイハツトギガビットメモリハイセンエノオウヨウ
Author/Editor: 研究代表者広瀬全孝
Author Heading: 広瀬, 全孝ヒロセ, マサタカ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA02023222
Publication, Distribution, etc.: [広瀬全孝]
Publication Date: 1995.3
Publication Date (W3CDTF): 1995
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): [研究課題番号: 04555071]
研究代表者: 広瀬全孝(広島大学工学部教授)
研究分担者: 宮崎誠一, 林俊雄, 小谷秀夫
文献あり
課題番号: 04555071(科学研究費助成事業データベースによる)
表紙に課題番号0455071とあり(誤植)
Related Material: 科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795384198144
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB27336910#entity
Periodical Title: 科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795384198144
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB27336910 : BB27336910