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図書

サブナノメートルの変位,形状測定機の自律絶対校正システムの試作

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サブナノメートルの変位,形状測定機の自律絶対校正システムの試作

資料種別
図書
著者
清野慧研究代表者
出版者
[清野慧]
出版年
1998.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
サブナノメートル ノ ヘンイ,ケイジョウ ソクテイキ ノ ジリツ ゼッタイ コウセイ システム ノ シサク
著者・編者
清野慧研究代表者
著者標目
清野, 慧 キヨノ, サトシ
出版事項
出版年月日等
1998.3
出版年(W3CDTF)
1998
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成8-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08505002)