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マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

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マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

資料種別
図書
著者
厨川常元研究代表者
出版者
[厨川常元]
出版年
2001.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロアイスジェット ノ セイセイ ト 3ジゲン ハンドウタイ ソシ ヨウソウカン ゼツエンマク ノ センタクテキ カコウホウ ヘノ テキヨウ
著者・編者
厨川常元研究代表者
著者標目
厨川, 常元 クリヤガワ, ツネモト
出版事項
出版年月日等
2001.3
出版年(W3CDTF)
2001
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450051)