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マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

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マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

Material type
図書
Author
厨川常元研究代表者
Publisher
[厨川常元]
Publication date
2001.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロアイスジェット ノ セイセイ ト 3ジゲン ハンドウタイ ソシ ヨウソウカン ゼツエンマク ノ センタクテキ カコウホウ ヘノ テキヨウ
Author/Editor
厨川常元研究代表者
Author Heading
厨川, 常元 クリヤガワ, ツネモト
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001.3
Publication Date (W3CDTF)
2001
Size
30cm
Alternative Title
平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450051)