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ALTECH 95 : analytical techniques for semiconductor materials and process characterization II : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 95, The Hague, The Netherlands

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ALTECH 95 : analytical techniques for semiconductor materials and process characterization II : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 95, The Hague, The Netherlands

資料種別
図書
著者
edited by Bernd O. Kolbesen, Cor Claeys, Peter Stallhofer ; [sponsored by] Electronics Division
出版者
Electrochemical Society
出版年
c1995
資料形態
ページ数・大きさ等
23 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

ALTECH 95 was held Sept. 28-29, 1995 in The Hague, Netherlands in conjunction with ESSDERC 95, the 25th European Solid State Device Research Conferenc...

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
1566771226
著者・編者
edited by Bernd O. Kolbesen, Cor Claeys, Peter Stallhofer ; [sponsored by] Electronics Division
出版年月日等
c1995
出版年(W3CDTF)
1995
大きさ
23 cm
並列タイトル等
Analytical techniques for semiconductor materials and process characterization II