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Studies on development of measurement technique of absolute densities of atomic species in reactive plasma process using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with microdischarge hollow cathode lamp

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Studies on development of measurement technique of absolute densities of atomic species in reactive plasma process using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with microdischarge hollow cathode lamp

資料種別
図書
著者
Seigou Takashima
出版者
[s.n.]
出版年
[2001]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
30 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2001Kind of academic degree: 博士(工学)Date degree granted: 2001-03-26...

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紙

資料種別
図書
タイトル
Studies on development of measurement technique of absolute densities of atomic species in reactive plasma process using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with microdischarge hollow cathode lamp
著者・編者
Seigou Takashima
著者標目
高島, 成剛 タカシマ, セイゴウ
出版事項
[s.n.]
出版年月日等
[2001]
出版年（W3CDTF）
2001
大きさ
30 cm
並列タイトル等
マイクロ放電ホローカソードランプを用いた真空紫外吸収分光法による反応性プラズマプロセス中の原子種の絶対密度計測技術の開発に関する研究
本文の言語コード
en