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走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究

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走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究

資料種別
図書
著者
大毛利健治 [著]
出版者
[出版者不明]
出版年
[2000]
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

[2]は下つき文字名古屋大学大学院工学研究科1999年度博士論文学位の種類: 博士 (工学)...

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資料種別
図書
タイトルよみ
ソウサガタ トンネル ケンビキョウ オ モチイタ ゴクウス シリコン サンカマク ノ ケイセイ オヨビ レッカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
大毛利健治 [著]
著者標目
大毛利, 健治 オオモリ, ケンジ
出版事項
出版年月日等
[2000]
出版年(W3CDTF)
2000
大きさ
30cm
並列タイトル等
Study on formation and degradation of ultra-thin SiO[2] films using scanning tunneling microscopy