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Proceedings, IEEE the Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures,sensors, actuators, machines and systems : Heidelberg, Germany, January 25-29, 1998 : soft : case : micro

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Proceedings, IEEE the Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures,sensors, actuators, machines and systems : Heidelberg, Germany, January 25-29, 1998 : soft

資料種別
図書
著者
sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division and the Ministry of Economic Affairs of Baden-Württemberg
出版者
IEEE Service Center
出版年
c1998
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
30 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

"IEEE catalog number: 98CH36176"Includes bibliographical references

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紙

資料種別
図書
ISBN
078034412X
0780344138
0780344146
タイトル
Proceedings, IEEE the Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures,sensors, actuators, machines and systems : Heidelberg, Germany, January 25-29, 1998
巻次・部編番号
: soft
: case
: micro
著者・編者
sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division and the Ministry of Economic Affairs of Baden-Württemberg
著者標目
IEEE Robotics and Automation Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA04995713外部サイト
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
https://ci.nii.ac.jp/author/DA04552610外部サイト
American Society of Mechanical Engineers. Dynamic Systems and Control Division
https://ci.nii.ac.jp/author/DA04247639外部サイト
Ministry of Economic Affairs of Baden-Württemberg
出版事項
IEEE Service Center
出版年月日等
c1998
出版年（W3CDTF）
1998
大きさ
30 cm