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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウカンド コウデンシ シュウリツ ブンコウ ニヨル キワメテ ウスイ サンカマク : シリコン カイメン ノ ケッカン ミツド テイリョウ ヒョウカ
- 著者・編者
- 研究代表者 宮崎誠一
- 著者標目
- 宮崎, 誠一 ミヤザキ, セイイチ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- 高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜シリコン界面の欠陥密度定量評価