高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜 : シリコン界面の欠陥密度定量評価

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Material Type: 図書
Title: 高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜 : シリコン界面の欠陥密度定量評価
Title Transcription: コウカンドコウデンシシュウリツブンコウニヨルキワメテウスイサンカマク : シリコンカイメンノケッカンミツドテイリョウヒョウカ
Author/Editor: 研究代表者宮崎誠一
Author Heading: 宮崎, 誠一ミヤザキ, セイイチ
Publication, Distribution, etc.: [宮崎誠一]
Publication Date: 1998.3
Publication Date (W3CDTF): 1998
Size: 30cm
Alternative Title: 高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜シリコン界面の欠陥密度定量評価
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): [課題番号] : 08455147
研究代表者: 宮崎誠一(広島大学工学部助教授)
研究分担者: 廣瀬全孝
参考文献あり
Related Material: 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796573175552
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB28549327#entity
Periodical Title: 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796573175552
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB28549327 : BB28549327