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準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

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準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

資料種別
図書
著者
研究代表者 西垣敏
出版者
西垣敏
出版年
1987.3
資料形態
ページ数・大きさ等
26cm
NDC
549.8
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資料に関する注記

一般注記:

研究課題番号: 60550009

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資料種別
図書
タイトルよみ
ジュン アンテイ ゲンシ ノ ペニング イオンカ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメンジョウ ノ キンゾク ゲンシ キュウチャク ノ ケンキュウ
著者・編者
研究代表者 西垣敏
出版事項
出版年月日等
1987.3
出版年(W3CDTF)
1987
大きさ
26cm
並列タイトル等
昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書