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準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

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準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

Material type
図書
Author
研究代表者 西垣敏
Publisher
西垣敏
Publication date
1987.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
26cm
NDC
549.8
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Notes on use

Note (General):

研究課題番号: 60550009

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ジュン アンテイ ゲンシ ノ ペニング イオンカ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメンジョウ ノ キンゾク ゲンシ キュウチャク ノ ケンキュウ
Author/Editor
研究代表者 西垣敏
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1987.3
Publication Date (W3CDTF)
1987
Size
26cm
Alternative Title
昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書