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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ジセダイ コウシュウセキ カイロ LSI ヨウ クラスター イオン チュウニュウ ソウチ ノ シサク ケンキュウ
- 著者・編者
- 山田公研究代表
- 著者標目
- 山田, 公 ヤマダ, イサオ京都大学工学部附属イオン工学実験施設 キョウト ダイガク コウガクブ フゾク イオン コウガク ジッケン シセツ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1995.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- 平成4〜6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 04555003