気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

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資料種別: 図書
タイトル: 気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
タイトルよみ: キタイブンリハイセンコウゾウオユウスル TA ゲートキンゾクキバン SOI チョウコウソクチョウビサイ LSI ノカイハツ
著者・編者: 研究代表者大見忠弘
著者標目: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA0838100X
須川, 成利スガワ, シゲトシ
小谷, 光司コタニ, コウジ
平山, 昌樹ヒラヤマ, マサキ
出版事項: [大見忠弘]
出版年月日等: 2002.3
出版年（W3CDTF）: 2002
大きさ: 30cm
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 研究分担者: 須川成利, 小谷光司, 平山昌樹
関連情報: 科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794685227008
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB06298358#entity
掲載誌: 科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794685227008
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB06298358 : BB06298358