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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- DC アーク RF マグネトロン プラズマ オ リヨウ シタ キノウセイ ザイリョウ ノ セイゾウ オヨビ ヒョウメン カイシツ
- 著者・編者
- 冨井洋一研究代表
- 著者標目
- 冨井, 洋一 トミイ, ヨウイチ京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1995.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- 平成6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555189