図書

2001 6th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage, May 13-15, 2001, Monterey, California, USA : soft.

図書を表すアイコン

2001 6th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage, May 13-15, 2001, Monterey, California, USA : soft.

資料種別
図書
著者
Manfred Engelhardt, Terence Hook, and Calvin T. Gabriel, ; technical co-sponsors, American Vacuum Society, IEEE/Electron Devices Society, Japanese Society of Applied Physics
出版者
American Vacuum Society - Northen California Chapter
出版年
c2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
28 cm
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

"P2ID"-- on cover"IEEE Catalog Number (softbound) 01TH8583" -- T. p. versoIncludes bibliographical references and index

書店で探す

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    紙
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
    この本の所蔵を確認

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
ISBN
096515775X
タイトル
2001 6th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage, May 13-15, 2001, Monterey, California, USA
巻次・部編番号
: soft.
著者・編者
Manfred Engelhardt, Terence Hook, and Calvin T. Gabriel, ; technical co-sponsors, American Vacuum Society, IEEE/Electron Devices Society, Japanese Society of Applied Physics
著者標目
International Symposium on Plasma Process-Induced Damage
https://ci.nii.ac.jp/author/DA13150844外部サイト
Engelhardt, Manfred
Hook, Terence
Gabriel, Calvin T.
https://ci.nii.ac.jp/author/DA10596199外部サイト
IEEE Electron Devices Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA01257512外部サイト
American Vacuum Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03926125外部サイト
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00633233外部サイト
出版事項
American Vacuum Society - Northen California Chapter
出版年月日等
c2001
出版年（W3CDTF）
2001
大きさ
28 cm