雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Volume number118(1)-118(18):2018.4.6-2018.4.27 (Web掲載118(4-8),118(12),118(16-17),118(19-23))
Article白色干渉計を用いた光...

白色干渉計を用いた光学的3Dナノ人工物メトリクス (ハードウェアセキュリティ)

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白色干渉計を用いた光学的3Dナノ人工物メトリクス

(ハードウェアセキュリティ)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
028975966
Material type
記事
Author
吉田 直樹ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2018-04-13
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(3):2018.4.13
Publication Page
p.11-16
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Paper

Material Type
記事
Title
白色干渉計を用いた光学的3Dナノ人工物メトリクス
Author/Editor
吉田 直樹
上羽 陽介
西尾 俊平
大八木 康之
法元 盛久
竪 直也
成瀬 誠
松本 勉
Series Title
ハードウェアセキュリティ
Author Heading
吉田 直樹
上羽 陽介
西尾 俊平
大八木 康之
法元 盛久
竪 直也
成瀬 誠
松本 勉
Alternative Title
Optical 3D Nano Artifact-metrics using White Light Interferometry
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
118(3):2018.4.13
Volume
118
Issue
3