MEMS熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガスのリアルタイム濃度センシング技術の提案と実証

Journal name: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 40:2023.11.6-9

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Material Type: 記事
Title: MEMS熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガスのリアルタイム濃度センシング技術の提案と実証
Author/Editor: 王萍
久留井慶彦
藤原直也
秋元陽介
平松直樹
石橋史隆
北川良太
山﨑宏明
小島章弘
Author Heading: 王萍
久留井慶彦
藤原直也
秋元陽介
平松直樹
石橋史隆
北川良太
山﨑宏明
小島章弘
Alternative Title: Fast and Simultaneous Gas Sensing Method in Mixed Gases Using Multiple Micromachined Thermal Conductivity Detectors
Periodical title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
No. or year of volume/issue: 40:2023.11.6-9
Volume: 40
Pages: 6p
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2023-11
Publication (Periodical Title): [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN33
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: YH247-299
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 033243568
http://id.ndl.go.jp/bib/033243568
Bibliographic Record Category (NDL): 632