「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集

• Material Type: 雑誌; 電子資料
• Title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
• Title Transcription: センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム 」 シンポジウム ロンブンシュウ
• Volume: 40:2023.11.6-9
• Author/Editor: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
• Author Heading: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
• Publication Date: 2023
• Publication Date (W3CDTF): 2023
• Year and volume of publication: 26回 (2009)-
• Size: 12cm
• Alternative Title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム シンポジウム; マイクロ・ナノ工学シンポジウム マイクロ ナノ コウガク シンポジウム; 集積化MEMSシンポジウム シュウセキカ MEMS シンポジウム
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Note (Material Type): [電子資料]
• Computer File Characteristics: テキスト・データ
• Note (Computer File Characteristics): PDF (26回による)
• NDLC: ZN33
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 26回から29回までの本タイトル: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム; 「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 (日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催), 「 集積化MEMSシンポジウム」 (応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催) を収載
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: YH247-299
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007531764
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010643656; http://id.ndl.go.jp/bib/000010643656
• National Bibliography No. (JPNO): 01024840
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 144

Table of Contents

圧電MEMS光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討

バイポーラ電気化学的信号増幅を利用した金属置換型クーロメトリー

インスリン抵抗性評価のための局所糖負荷試験システム

シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止

MEMS熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガスのリアルタイム濃度センシング技術の提案と実証