Ar/H₂スパッタ成膜したIn₂O₃系透明導電膜の屈曲時抵抗変化と成膜時圧力の関係理解

• Material Type: 記事
• Title: Ar/H₂スパッタ成膜したIn₂O₃系透明導電膜の屈曲時抵抗変化と成膜時圧力の関係理解
• Author/Editor: 木菱 完太; 山寺 真理; 小林 翔; 相川 慎也
• Series Title: 電子材料研究会 エコシステム材料の合成・プロセスと次世代デバイス応用への展開
• Author Heading: 木菱 完太; 山寺 真理; 小林 翔; 相川 慎也
• Alternative Title: Understanding the relationship between resistance changing during bending and sputtering pressure of In₂O₃-based transparent conductive oxide films fabricated in Ar/H₂ atmosphere
• Periodical title: 電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編]
• No. or year of volume/issue: 2024(1-26):2024.11.28・29
• Volume: 2024
• Issue: 1-26
• Pages: 11-14
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2024-11
• Publication (Periodical Title): 東京 : 電気学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: フレキシブル; 透明導電膜; 酸化インジウム; 水素; ドーピング; 常温プロセス; Flexible; Transparent conductive films; In₂O₃; Hydrogen; Doping; Room temperature process
• NDLC: ZN33
• Target Audience: 一般
• Report No. (Article): EFM-24-004
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z43-226
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 033849544; http://id.ndl.go.jp/bib/033849544
• Bibliographic Record Category (NDL): 632