Ga2O3薄膜の作製と酸素センサ特性の評価 (電子デバイス)

Icons representing 記事

Ga2O3薄膜の作製と酸素センサ特性の評価

(電子デバイス)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
10247271
Material type
記事
Author
茅野 真也ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2009-05
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109(23) 2009.5.14・15
Publication Page
p.17~20
View All

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
記事
Author/Editor
茅野 真也
堀内 郁志
以西 雅章
Series Title
Alternative Title
Preparation of Ga2O3 films and evaluation of oxygen sensing properties
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
109(23) 2009.5.14・15
Volume
109
Issue
23