雑誌原研施設利用共同研究成果報告書
Volume number(通号41) 2001年度
Article低温水素イオン注入シ...

低温水素イオン注入シリコンの欠陥構造分析 (放射線とイオンビームによる物質構造の研究と改質・合成)

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低温水素イオン注入シリコンの欠陥構造分析

(放射線とイオンビームによる物質構造の研究と改質・合成)

Call No. (NDL)
Z16-1907
Bibliographic ID of National Diet Library
6491945
Material type
記事
Author
徳田 豊ほか
Publisher
東京 : 東京大学原子力研究総合センター
Publication date
2001
Material Format
Paper
Journal name
原研施設利用共同研究成果報告書 / 東京大学原子力研究総合センター [編] (通号 41) 2001年度
Publication Page
p.26～33
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Paper

Material Type
記事
Title
低温水素イオン注入シリコンの欠陥構造分析
Author/Editor
徳田 豊
岩田 博之
高木 誠 他
Series Title
放射線とイオンビームによる物質構造の研究と改質・合成
Author Heading
徳田 豊
岩田 博之
高木 誠
Periodical title
原研施設利用共同研究成果報告書 / 東京大学原子力研究総合センター [編]
No. or year of volume/issue
(通号 41) 2001年度
Sequential issue number
41
Pages
26～33
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2001