ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価

• Material Type: 記事
• Title: ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価
• Volume: 2009A; 0
• Author/Editor: 白沢 佑樹; 佐野 泰久; 村田 順二; 山内 和人
• Author Heading: Shirasawa Yuki; 白沢 佑樹; Sano Yasuhisa; 佐野 泰久; Murata Junji; 村田 順二; Yamauchi Kazuto; 山内 和人
• Publication Date: 2009
• Publication Date (W3CDTF): 2009
• Alternative Title: Evaluation of GaN Substrate Surface Quality by Characteristics of Schottky Barrier Diode
• Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• No. or year of volume/issue: 2009A 0
• Volume: 2009A
• Issue: 0
• Pages: 175-176
• Alias of Author: Shirasawa Yuki; Sano Yasuhisa; Murata Junji; Yamauchi Kazuto
• Subject Heading: electronic characteristics; 電気特性; Schottky Barrier Diode; ショットキーバリアダイオード; surface; 表面; GaN
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2009A.0.175.0
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: GaN基板表面にショットキーバリアダイオードを作製し，I-V特性およびC-V特性を測定した．異なる基板において差異が見られたため，電気特性測定によってGaN基板面の結晶性を定性的に評価出来ることが分かった．また，市販GaN自立基板の研磨面をエッチングし，同様の評価を行うことで，エッチング量と電気特性...