ガラスのレーザスクライブにおける加工可能条件の繰り返し周波数を考慮した推定

• Material Type: 記事
• Title: ガラスのレーザスクライブにおける加工可能条件の繰り返し周波数を考慮した推定
• Volume: 2011S; 0
• Author/Editor: 八幡 恵輔; 大村 悦二; 清水 政二; 村上 政直
• Author Heading: Yahata Keisuke; 八幡 恵輔; Ohmura Etsuji; 大村 悦二; Shimizu Seiji; 清水 政二; Murakami Masanao; 村上 政直
• Publication Date: 2011
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• No. or year of volume/issue: 2011S 0
• Volume: 2011S
• Issue: 0
• Pages: 149-150
• Alias of Author: Yahata Keisuke; Ohmura Etsuji; Shimizu Seiji; Murakami Masanao
• Subject Heading: tensile stress; 引張応力; shear stress; せん断応力; thermal stress analysis; 熱応力解析; laser frequency; 繰り返し周波数; glass; ガラス; laser scribing; レーザスクライブ
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2011S.0.149.0
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: レーザスクライブが可能な条件は，レーザ走査速度の低速側では表面に微細なクラックが発生することにより，高速側では垂直亀裂が進展しないことにより，それぞれ制約される．前者のクラックは加熱時のせん断応力に起因して発生する．したがって，繰り返し周波数を考慮した熱応力解析によって，スクライブ可能な最低速度は加...