Focus Variationによる高アスペクト比形状の非接触計測に関する研究

• Material Type: 記事
• Title: Focus Variationによる高アスペクト比形状の非接触計測に関する研究
• Volume: 2015S; 0
• Author/Editor: 小出石 達樹; 臼杵 深; 三浦 憲二郎
• Author Heading: 小出石 達樹; Odeishi Tatsuki; 臼杵 深; Usuki Shin; 三浦 憲二郎; Miura Kenjiro
• Publication Date: 2015
• Publication Date (W3CDTF): 2015
• Alternative Title: The non-contact measurement of high aspect ratio shape by Focus Variation
• Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• No. or year of volume/issue: 2015S 0
• Volume: 2015S
• Issue: 0
• Pages: 159-160
• Alias of Author: Odeishi Tatsuki; Usuki Shin; Miura Kenjiro
• Subject Heading: 光学顕微鏡; light microscopy; 非接触形状計測; non-contact shape measurement; 三次元局所分散; 3D local dispersion; Focus Variation
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2015S.0_159
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: 精密部品加工技術の発展に伴い，微細な穴やピン等の高アスペクト比形状の非破壊検査が要求されている.本研究では，光学顕微鏡とFocus Variation技術を用いて高アスペクト比形状を非接触計測することを目的とする．Focus Variation技術における画像の合焦判定処理に三次元的な局所分散値を導...