高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究

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Material Type: 博士論文
Title: 高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究
Title Transcription: コウセイノウハクマクトランジスタノジツヨウカオメザシタダイリュウケイシリコンハクマクサクセイシュホウノケンキュウ
Author/Editor: 平松, 雅人
Author Heading: 平松, 雅人ヒラマツ, マサト
Publication, Distribution, etc.: 奈良先端科学技術大学院大学
Publication Date: 2012-12-21
Publication Date (W3CDTF): 2012-12-21
Alternative Title: Study of Fabrication Method of Poly-Si Films with Large Grain-size for Practical Use of High-performance Thin Film Transisters
Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
Date Granted: 2012-12-21
Dissertation Number: 甲第1100号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 大粒径
ポリシリコン
薄膜トランジスタ
レーザ結晶化
位相変調法
Target Audience: 一般
DOI: 10.34413/dr.01100
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 奈良先端科学技術大学院大学 : 奈良先端科学技術大学院大学学術リポジトリnaistar